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TOC降解器

簡介


     超純水制備中,TOC(總有機碳)的降解至關重要,采用UV-185nm低壓高能紫外技術,并結合UV-254nm紫外線殺菌器,能夠通過高劑量的UV-185nm紫外光催化,在水中產生羥基自由基,對水中的有機物進行氧化降解,以降低水中的TOC含量。



去除TOC的工作原理


     TOC降解器中裝有可產生185nm波長的紫外燈管,當純水用185nm紫外光直接照射時,水中TOC與光子直接碰撞的幾率很低,靠水中TOC雜質直接吸收185nm紫外光光子能量再分解并形成C02逸出是很困難的,所以可以認為185nm紫外光降解水中TOC時185nm紫外光先與水作用,引起水的均裂反應, 因而185nm紫外光照射水時,在185nm紫外光所能照射的范圍內可以產生中間體HO-,H·和eaq(水合電子),這些活性中間體再與水中有機物發生親電、親核或電子轉移反應,引起水中有機物的降解和礦化,并使其TOC濃度降低。



為什么會使用185nm波長


     根據中國目前超大規模集成電路的生產和研究水平的需要,為使TOC的含量小于15μg/L或小于3μg/L,國內首先在高純水設備中用185nm紫外線照射,使水中TOC降低到小于3μg/L,解決了兆位電路及大直徑硅片用高純水的關鍵技術難題。若不用185nm紫外線照射,目前高純水中TOC較好的只能做到20~50μg/L。

     185nm紫外線是一種波長較短、能量較高的超紫外線,其能量相當于6.7eV,而一般用于高純水中的為254nm波長的紫外線,其能量相當于4.88eV,對于這兩種紫外線去除有機物,效果有所不同,下圖列出某些有機物化學鍵的鍵能及相應的波長。



TOC降解器圖片



化學鍵的鍵能表


化學鍵

鍵能

化學鍵

鍵能

/kj.mol-1

/eV

波長/nm

/kj.mol-1

/eV

波長/nm

C-C

C=C

C≡C

C-F

C-CI

C-H

C-O

347.5
615.5
812.2
489.8
326.6
414.5
360.1

3.6
6.4
8.4
5.1
3.4
4.3
3.7

344
194
148
243
364
288 

335

C-O

C-N

C-N

C-S

N-O

O-H

Si-O

728.5
305.6
824.8
477.3
594.5
467.1 

467.1

7.6
3.2
6.4
4.9
6.2
4.8
4.8

163
387
194
253
200
258
258

  

     根據上圖所列各種化學鍵,若用185nm紫外線,除C≡C,C=O鍵外,其余化學鍵的鍵能均小于6.7eV,均能被破壞。若用254nm紫外線,其鍵能為4.88eV,那么C=C、C≡C、C-F、C=O、C=N、C=S、N-O鍵的鍵能均大于4.88eV,都不能被破壞,而O-H、Si-O鍵的鍵能與254nm紫外線接近,也不易被完全破壞,因此許多有機物在185nm紫外線下被破壞,而在254nm波長的紫外線下不能被破壞,這就是185nm紫外線更能有效地降低水中的TOC的道理。利用這一鍵能理論,以185nm紫外線照射高純水應降低TOC,使兆位電路用水TOC下降到小于3μg/L,并在中國成功地用于ULSI和直徑200mm硅片及硬盤磁頭生產中,效果很好。



主要功能及特征


      a、用于超純水制配中TOC降解。

      b、有超高的殺菌功效。

      c、紫外線TOC降解設備必須安裝精制混床,以保證不增加新的TOC及恢復水中的電解氯。

      d、TOC降解的幅度取決于水中TOC的構成情況及紫外線TOC降解設備劑量設計。紫外線TOC降解設備能夠使TOC降到10ppb。


結構:承壓筒體


材質:筒體:304材質。316L材質可選



現場



應用:EDI生產線

客戶:通用電氣水處理技術(無錫)有限公司

核心優勢:脫除TOC效率大于60%,性能穩定可靠

概述:處理水量15T/H

項目概況:通用電氣公司(GE)是多元化服務性公司,世界500強之中位居前列。



檢驗生產調試包裝

不銹鋼材質分析及檢驗


沛德水處理公司檢測部門人員對過濾器法蘭進行檢測


    

    沛德水處理公司在采購TOC降解器原材料后,檢測部的檢測人員都會對原材料進行嚴格檢測。沛德水處理高價購買(20萬)的手持式合金分析儀,具有革命性的GOLDD技術,極高的靈敏度與檢測精度。購買手持式合金分析儀可謂是一種昂貴的投資,沛德水處理注重產品質量控制,因此材料檢驗一定要好的檢測設備。

 

焊接效果

 

不銹鋼紫外線消毒器法蘭焊接效果圖

 

焊接 

 

不銹鋼紫外線消毒器法蘭內角焊接效果圖

 

機械拋光

 

機械拋光

 

電解拋光

 

電解拋光

 

亞光處理

 

水處理設備噴砂車間1

 

控制箱的制作

 

控制箱的制作

 

水質分析檢查

 

水質分析實驗室1

 

TOC降解器出貨包裝




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